Trạm đo vi thao tác Micromanipulator 4060

Giới thiệu trạm đo vi thao tác Micromanipulator 4060   

Trạm đo vi thao tác  Micromanipulator 4060   

Trạm đo vi thao tác 4060 là hệ thống máy đo, phân tích thủ công 6 - 8" (150 - 200mm) với hiệu năng cao. 4060 thường được sử dụng trong việc phân tích lỗi hằng ngày, đặc tính hóa thiết bị và các ứng dụng kiểm tra độ tin cậy. Trạm đo vi thao tác 4060 kết hợp giá trị sử dụng hiệu quả với hiệu suất cao về điện và cơ một cách nhất quán khiến cho nó trở thành trạm đo 150 - 200mm hiệu quả và ổn định trong ngành   

Các tùy chọn khả dụng cho trạm đo vi tác 4060 cho phép bạn định hình cho các nhu cầu cụ thể. Giá đỡ que đo, mâm cặp nhiệt, bộ điều khiển, bàn cách ly rung, vỏ kín (LTE) và hệ thống camera tùy chọn. Các tùy chọn cấu hình trạm bao gồm giá nâng kính hiển vi độc lập, khóa đòn bẩy, điều chỉnh độ trễ khi nâng kính, điều chỉnh sáng tối và nhiệt độ môi trường   

4060 mang lại hiệu suất cao với chi phí sở hữu thấp, độ tin cậy cao chắc chắn sẽ khiên nó trở thành thiết bị hiệu quả cho nhiều mục đích sử dụng chung   

Đặc điểm và lợi ích   

- Vít dẫn được điều chỉnh bằng tay cho từng giai đoạn riêng. Điều khiển cân bằng chính xác, chuyển tiếp giữa hai wafer nhanh và độ phân giải định vị cao    
- Điều khiển vít của trục lăn để định vị que đo dễ dàng    
- Điều khiển măm cặp bằng vít lái với độ phân giải cao    
- Kính hiển vi ghép với độ phân giải cao độ ổn định tốt, Stereo Zoom (Optional)    
- Bao gồm nâng trục lăn nhanh, điều chỉnh độ trễ nâng kính (Optional)    
- Độ nghiêng kính độc lập và khóa tiêu chuẩn    
- Thiết kế tiện dụng, trực quan, nhỏ gọn giúp nâng cao độ ổn định    
- Độ nghiêng kính độc lập và khóa tiêu chuẩn    
- Phần khung máy nhỏ gọn phù hợp cho hầu hết các không gian phòng thí nghiệm    
- Tấm ốp nhôm lớn cho phép người vận hành có nhiều tùy chọn vị trí thao tác thuận tiện     
- Mâm cặp chân không xung quanh 6" (150mm) hoặc 8" (200mm) với đầy đủ hành trình bao phủ wafer     
- Tùy chọn: Mâm cặp nóng có thể được thêm vào nó bao gồm cụm cáp xử lý/ống bên trong với đầu nối thuận tiện ở phía sau trạm đo (Probe Station)    

Thông số kỹ thuật trạm đo vi thao tác Micromanipulator 4060    

- Kích thước trạm kiểm tra    

• Phần bàn làm việc (rộng x dài): 22.75" x 23.35" (57.7 x 59.3cm)    
• Phần thân máy (rộng x dài x cao): 28.5" x 26.75" x 21.5" (72.3 x 67.9 x 54.6cm)    
• Trọng lượng: 191 lb (86.6kg)    

- Trục định vị X-Y     

• Lõi đúc cho thời gian xử lý nhanh hơn    
• Xây dựng kiểu con lăn chéo cho độ tin cậy và độ chính xác cao    
• Phạm vi di chuyển trục X và Y 6" x 6" (150mm x 150mm) hoặc 8" x 8" (200mm x 200mm). Điều khiển bằng tay    
• Độ phân giải nhiệt độ 1°    

- Mâm cặp Theta    

• 64 TPI (độ phân giải 1.0), phạm vi 15 độ    

- Kính hiển vi    

• Cầu gắn kết với 4" x 4" x 2" (100mm x 100mm x 50mm). Độ phân giải X, Y, Z độ phân giải 3.5μm   

- Tấm ốp giữ bằng nhôm với điện tích lớn    

• Phạm vi trục Z 1.0" thông qua điều khiển nâng hạ trục, độ phân giải 0.1μm trên một độ xoay