Hệ thống vi thao tác kiểm tra linh kiện Micromanipulator 450PM

Giới thiệu Hệ thống vi thao tác 450PM

Hệ thống vi thao tác kiểm tra linh kiện Micromanipulator 450PM

Đặc điểm và tính năng hệ thống vi thao tác 450PM 

- Vít dẫn được điều khiển bằng tay cho tuổi thọ cao và ổn định, định vị nhanh hơn  
- Các trục lăn được điều khiển bằng trục vít chì, cung cấp trên các mô hình 450M-A để định vị thăm dò  
- Tay xoay theta có ngàm khóa thủ công tiện lợi  
- Kính hiển vi Stereo Zoom hoặc Compound với độ ổn định cao cho phép định vị X-Y giúp điều khiển lấy nét chính xác  
- Thiết kế tiện dụng, nhỏ gọn giúp tăng cường khả năng làm việc đồng thời và độ ổn định  
- Phù hợp sử dụng với đa số không gian phòng thí nghiệm  
- Tấm ốp nhôm lớn cho phép người vận hành có nhiều tùy chọn vị trí thao tác thuận tiện  
- Mâm cặp chân không xung quanh 8" (200mm) với đầy đủ hành trình wafer 8x8"  
- Tùy chọn: Mâm cặp nóng có thể được thêm vào nó bao gồm cụm cáp xử lý/ống bên trong với đầu nối thuận tiện ở phía sau trạm đo (Probe Station) 

Thông số kỹ thuật trạm  

- Kích thước trạm kiểm tra 

• Phần bàn làm việc (rộng x dài): 22.75" x 23.35" (57.7 x 59.3cm) 
• Phần thân máy (rộng x dài x cao): 28.5" x 26.75" x 21.5" (72.3 x 67.9 x 54.6cm) 
• Trọng lượng: 191 lb (86.6kg) 

- Trục định vị X-Y  

• Lõi đúc cho thời gian xử lý nhanh hơn 
• Xây dựng kiểu con lăn chéo cho độ tin cậy và độ chính xác cao 
• Phạm vi di chuyển trục X và Y 8" x 8" (200mm x 200mm). Điều khiển bằng tay 
• Độ phân giải nhiệt độ 1° 

- Mâm cặp Theta 

• Được nối liền với phần tâm có thể xoay được dễ dàng bằng vít trên mâm cặp cố định 

- Kính hiển vi 

• Tay giữ cho phép định vị Y lên đến 8" (200mm) với góc xoay 180° 
• Định vị theo chiều dọc lên đến 8" (200mm) với điều khiển lấy nét bằng kính hiển vi 1" 

- Tấm ốp giữ bằng nhôm với điện tích lớn 

• Phạm vi trục Z 450PM-A: 1 (25.4mm), độ phân giải 40 micron (0.0015) mỗi vòng quay 
• 450PM-B: Trục lăn cố định, độ ổn định cao